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[3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡]




【VF-8800S(KEYENCE)】

・作製した試料膜の5軸高倍率観察が可能
・倍率 : 15～100000 倍(分解能30 nm)
・低-高真空(3～260 Pa)
・加速電圧 : 0.5～20 kV
・最大試料サイズ : Φ64 mm